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微加工準(zhǔn)分子氣體的用途
2024.06.18

微加工準(zhǔn)分子氣體,主要用于準(zhǔn)分子激光設(shè)備中作為激光發(fā)生器的關(guān)鍵氣體。其用途廣泛,主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:

  1. 材料加工與改性
    • 激光打標(biāo):適用于鉆石等材料的打標(biāo)。
    • 表面改性:改變材料表面的物理或化學(xué)性質(zhì)。
    • 高碳鋼淬火:利用激光的高能量實(shí)現(xiàn)快速淬火。
  2. 三維加工
    • 刻線、打孔:利用準(zhǔn)分子激光技術(shù)可以得到小孔、刻線等精細(xì)結(jié)構(gòu)。
    • 三維復(fù)雜圖案加工:結(jié)合有效反饋(如激光測量)來控制光的輸入,加工精度在深度方向可達(dá)亞微米量級(jí)。
  3. 高密度元件制造
    • 在高密度元件數(shù)量增多、微通道尺寸減小的背景下,準(zhǔn)分子激光圖像制作相比其他直接寫入技術(shù)更具競爭力。例如,每秒可以得到>10000個(gè)過孔。
  4. 薄膜制備與圖形制作
    • 在薄膜上直接制備圖形,如射頻識(shí)別電路(RFID)和醫(yī)療傳感器上的金屬薄膜。
    • 利用“TFA”(薄膜燒蝕過程)在薄膜厚度小于1微米時(shí)達(dá)到佳效果。
  5. 生物醫(yī)療應(yīng)用
    • 生產(chǎn)新一代的醫(yī)學(xué)呼吸器,目前正在接受美國食品與藥物管理局(FDA)的評(píng)估。
    • 制作微型化的細(xì)胞培養(yǎng)工具(通常被稱為“芯片上的實(shí)驗(yàn)室”)。
  6. 半導(dǎo)體、AMOLED平板顯示等領(lǐng)域
    • 作為當(dāng)今有效、可靠的脈沖紫外激光技術(shù)的代表,準(zhǔn)分子激光器推進(jìn)了半導(dǎo)體、AMOLED平板顯示等多種成長型工業(yè)中的技術(shù)革新。

在具體應(yīng)用中,微加工準(zhǔn)分子氣體的化學(xué)式主要為ArF,通常包裝在16L鋼瓶中。供應(yīng)商如武漢紐瑞德特種氣體有限公司等,提供了源頭控制、渠道控制、分析控制等品質(zhì)保證措施,以及全程控制安全和完善的售后服務(wù)體系。

總之,微加工準(zhǔn)分子氣體在制造業(yè)微加工、材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用,是現(xiàn)代工業(yè)技術(shù)中不可或缺的一部分。

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